摘要: 测定了不同反应条件下, 不同空间位置的等离子体发射光谱, 并与相应条件下生成的类金刚石薄膜的红外吸收谱进行对照, 分析了它们之间的关系。
张慰萍;陈竞;方容川;胡克良. 制备类金刚石薄膜过程中的等离子体发射光谱[J]. 物理化学学报, 1992, 8(03): 383-388.
Zhang Wei-Ping; Chen Jing; Fang Rong-Chun; Hu Ke-Liang. Optical Emission Spectroscopy in Diamond-Like Carbon Film Deposition[J]. Acta Phys. -Chim. Sin., 1992, 8(03): 383-388.