文章
| 2022, Vol. 38(5): 2006016-0 DOI: 10.3866/PKU.WHXB202006016 | ||
| TiN/HfxZr1-xO2/TiN铁电电容器的原位生长与表征 | ||
殷宇豪1,2, 沈阳1, 王虎1, 陈肖1, 邵林3, 华文宇3, 王娟4, 崔义1,*( ) |
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| 1 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所，纳米真空互联实验站，江苏 苏州 215123 2 中国科学技术大学纳米科学与技术学院，合肥 230026 3 无锡拍字节科技有限公司，江苏 无锡 214028 4 Department of Physics and Engineering Physics, The University of Tulsa, Tulsa, OK 74104, USA |
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| 收稿日期 2020-06-08 修回日期 null | ||
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