制备类金刚石薄膜过程中的等离子体发射光谱
张慰萍;陈竞;方容川;胡克良
Optical Emission Spectroscopy in Diamond-Like Carbon Film Deposition
Zhang Wei-Ping; Chen Jing; Fang Rong-Chun; Hu Ke-Liang
物理化学学报 . 1992, (03): 383 -388 .  DOI: 10.3866/PKU.WHXB19920318