Ti/ZrN 2/Si薄膜界面扩散反应的研究
王莉;殷木省;朱永法
A Study of Interface Diffusion and Reaction of Ti/ZrN 2/Si Film
Wang Li;Yin Mu-Sheng;Zhu Yong-Fa
物理化学学报 . 2003, (07): 641 -646 .  DOI: 10.3866/PKU.WHXB20030715