亚硫酸根离子在硅和二氧化硅的湿法腐蚀中的作用
欧阳贱华;吴念祖;赵新生
The Role of Sulfite in the Wetting Etching of Silicon and Silica
Ouyang Jian-Hua;Wu Nian-Zu;Zhao Xin-Sheng
物理化学学报 . 2004, (06): 612 -615 .  DOI: 10.3866/PKU.WHXB20040612