TiN/Hf xZr 1-xO 2/TiN铁电电容器的原位生长与表征
殷宇豪, 沈阳, 王虎, 陈肖, 邵林, 华文宇, 王娟, 崔义
In Situ Growth and Characterization of TiN/Hf xZr 1-xO 2/TiN Ferroelectric Capacitors
Yuhao Yin, Yang Shen, Hu Wang, Xiao Chen, Lin Shao, Wenyu Hua, Juan Wang, Yi Cui
物理化学学报 . 2022, (5): 2006016 -0 .  DOI: 10.3866/PKU.WHXB202006016