Acta Phys. -Chim. Sin. ›› 2022, Vol. 38 ›› Issue (5): 2006016.doi: 10.3866/PKU.WHXB202006016
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Yuhao Yin1,2, Yang Shen1, Hu Wang1, Xiao Chen1, Lin Shao3, Wenyu Hua3, Juan Wang4, Yi Cui1,*()
Received:
2020-06-08
Accepted:
2020-07-02
Published:
2020-07-10
Contact:
Yi Cui
E-mail:ycui2015@sinano.ac.cn
About author:
Yi Cui, Email: ycui2015@sinano.ac.cn; Tel.: +86-13913595977MSC2000:
Yuhao Yin, Yang Shen, Hu Wang, Xiao Chen, Lin Shao, Wenyu Hua, Juan Wang, Yi Cui. In Situ Growth and Characterization of TiN/HfxZr1-xO2/TiN Ferroelectric Capacitors[J].Acta Phys. -Chim. Sin., 2022, 38(5): 2006016.
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