柠檬酸盐体系铜电沉积及其在微机电系统中的应用
吴伟刚, 杨防祖, 骆明辉, 田中群, 周绍民
Electrodeposition of Copper in a Citrate Bath and Its Application to a Micro-Electro-Mechanical System
WU Wei-Gang, YANG Fang-Zu, LUO Ming-Hui, TIAN Zhong-Qun, ZHOU Shao-Min
物理化学学报
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2010, (10): 2625
-2632
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DOI: 10.3866/PKU.WHXB20101002
