物理化学学报 >> 2010, Vol. 26 >> Issue (05): 1349-1354.doi: 10.3866/PKU.WHXB20100519

光化学与光谱 上一篇    下一篇

TiO2薄膜晶相转换的光谱分析

杨昌虎, 马忠权, 李凤, 何波, 袁剑辉, 张振华   

  1. 上海大学物理系, 索朗光伏材料与器件联合实验室, 上海 200444; 长沙理工大学物理与电子科学学院, 长沙 410004
  • 收稿日期:2009-11-30 修回日期:2010-01-07 发布日期:2010-04-29
  • 通讯作者: 杨昌虎 E-mail:ych.zrwq@163.com

Spectrum Analysis on Phase Transformations in TiO2 Thin Films

YANG Chang-Hu, MA Zhong-Quan, LI Feng, HE Bo, YUAN Jian-Hui, ZHANG Zhen-Hua   

  1. Shu-Solare Research and Development Joint Laboratory, Department of Physics, Shanghai University, Shanghai 200444, P. R. China; School of Physics and Electronic Science, Changsha University of Science and Technology, Changsha 410004, P. R. China
  • Received:2009-11-30 Revised:2010-01-07 Published:2010-04-29
  • Contact: YANG Chang-Hu E-mail:ych.zrwq@163.com

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摘要：

采用溶胶-凝胶法在石英玻璃衬底上用旋涂法制备了TiO2薄膜样品, 对样品在800-1100 ℃范围内进行退火处理, 并对样品进行了拉曼光谱、透射光谱和荧光发光(PL)光谱测试. 拉曼谱测试表明, 随退火温度的升高, 样品由锐钛矿相经锐钛矿与金红石的混相最终变为金红石相. 透射谱测试表明, 样品的吸收带边随着样品的相转换而发生红移.在总的趋势上, 样品的折射率n随相转换而升高, 厚度d和带隙Eg随相转换而降低. 荧光发光光谱测试表明, 在557-570 nm 和794-812 nm范围内出现了两个发光光谱带. 随着相转换, 557-570 nm范围内的发光光谱强度由强到无, 而794-812 nm范围内的发光光谱强度由弱到强.

关键词: TiO2薄膜, 相转换, 光谱, 溶胶-凝胶, 退火

Key words: TiO2 thin film, Phase inversion, Spectrum, Sol-gel, Annealing